翻開漢微科於半導體電子束檢測設備的崛起過程，見證半導體產業先進製程演進歷史。漢微科2003年開發出第一台電子束缺陷檢測設備震撼業界，隨著電子束檢測設備陸續研發出來，漢微科囊括全球一線半導體大廠訂單，在業績加持下，2014年每股盈餘45.6元攀上歷史高峰，獲外資法人青睞，隔年股價登上2585元高點，僅次於大立光，奠定股后屹立不搖地位。在奈米技術世代之前，光學晶圓檢測機台尚能克服線寬不斷微縮的挑戰，但在進入
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90奈米世代後，光學檢測技術面臨瓶頸，檢測良率已經無法滿足半導體大廠需求，而以電子掃描顯微技術（E-beam） 為核心技術的檢測機台，逐漸躍居晶圓缺陷檢驗之主流。1998年看準這個發展趨勢與市場需求，漢民科技集團董事長黃民奇邀集四位志同道合的頂尖科學家於美國矽谷成立 Hermes Microvision, Inc.，開始投入電子束晶圓檢測設備的研發。在經過幾年練兵摸索後，終於在2003年成功開發出第一台電子束缺陷檢測設備（E-beam Inspection Tool），當時震撼半導體設備業界，漢微科以特殊的跳躍式掃描檢測及穩定的電子槍技術領先全球，提供業界更先進的檢測設備與技術，有效改善並提高前段製程效能，隔年該設備eScan300成功打入長期由美日檢測設備廠商壟斷的晶圓市場，取得第一份訂單合約。2005年並打入日韓等高科技大廠，技術與品質獲得大廠認證，一度獲得台積電頒發最佳產品獎，2012年5月正式於櫃買中心掛牌，由於成功打入國際半導體大廠台積電、聯電、三星、美光、格羅方德等供應鏈，漢微科業績一路扶搖直上，自2012年營業額41.79億元躍升，到2014
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年72.09億元，當年度每股盈餘45.6元登上歷史顛峰，股價更自掛牌時208元一路走高，2015年登上2585元高峰。小檔案╱漢微科 漢微科成立於1998年，主要研發電子束檢測技術來協助提升半導體產業之良率，公司主要大客戶包括：台積電、英特爾、三星等晶圓代工廠與晶圓記憶體廠，在日本、韓國、中國大陸等均有營業據點。漢微科2012年5月21日掛牌上櫃，擁有多項自行研發專利技術，股價在2014年2月突破千元大關，加入「千元俱樂部」，當時與大立光被外界形容為「雙千金」，在股王爭霸過成中也曾短暫成為股王，目前為台股股后，歷史最高價為去(2015)年5月間的2585元。

工商時報【陳欣文


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